EUV-tävling rasar till perifer halvledarutrustning

Fördelen med Tokyo Electronics är "Coater Developer". Denna utrustning används för att belägga en speciell kemisk vätska på en kiselskiva som halvledarmaterial för att utveckla den. Inom EUV: s massproduktionsutrustning är företagets marknadsandel 100%. Den konsoliderade försäljningen för detta räkenskapsår förväntas uppgå till 1,28 biljoner yen. Mer än 10% av detta kommer att användas för forskning och utveckling för att befästa den främsta fördelen i populariseringsstadiet för EUV.

På marknaden för halvledartillverkningsutrustning på mer än 6 biljoner yen per år sker generationsförändringar.

Ju finare kretslinjens bredd hos en halvledare, desto högre prestanda och den aktuella banbrytande produkten är 5 nanometer. För att överföra en så tunn krets till en kiselskiva är EUV-litografimaskin oumbärlig. Med det ökande utbudet av ASML, den enda massproducerade EUV-metoden i världen, har utvecklingskonkurrens inklusive kringutrustning som beläggning och ljuskällor också börjat.

Symbolen för generationsförändringen är tillverkaren av testutrustningen Lasertec. Om det finns defekter i fotomasken som det ursprungliga kretskortet, ökar halvfaldens defektfaktor i enlighet därmed. Företaget producerar testutrustning som stöder EUV, och dess order från juli 2019 till mars 2020 har ökat 2,2 gånger från samma period förra året och nådde 65,8 miljarder yen. Två tredjedelar av de årliga orderna förväntas vara EUV-relaterade.

Dessutom pågår hårda konfrontationer mellan japanska företag. Inom fältet skrivmaskiner för elektronstrålmask fångar Toshibas NuFlare Technology upp alliansen mellan JEOL och IMS NANOFABRICATION (Österrike). Fokus ligger på utvecklingen av "Multi-Beam" -teknologi med 260 000 laserstrålar.

I januari avstod Toshiba HOYA, som initierade ett fientligt TOB (offentligt anbudserbjudande) och konsoliderade sin kontroll över Niu Fulai. 25 nyutskickade utvecklingstekniker etc. planerar att leverera EUV-stödjande nästa generations litografiutrustning inom 2020.

Gigaphoton (beläget i Oyama City, Tochigi Prefecture), ett dotterbolag till Komatsu som producerar laserkällor, ser fram emot ett comeback. Före EUV: s tillträde blev företaget ett av de två bästa inom området ljuskällor för litografimaskiner. Men på grund av skäl som förvärv av en konkurrent av ASML förlorar den för närvarande sin närvaro. Gigaphoton strävar efter att utveckla ljuskällekomponenter med hög effekt innan ASML lanserar nästa generations utrustning för EUV för att återfå marknadsandelar.

Bakgrunden för företag att påskynda utvecklingen av EUV-utrustning är miniatyriseringstävlingen som lanseras av Sydkoreas Samsung Electronics och TSMC. Efterfrågan på högpresterande halvledare som 5G är stark, och de två företagen tävlar om varje ASML-litografimaskin värd över 20 miljarder yen. I denna process utvidgas också affärsmöjligheterna för omgivande tillverkningsutrustningsföretag.

Statistik från International Semiconductor Equipment and Materials Association (SEMI) och Semiconductor Manufacturing Equipment Association of Japan (SEAJ) visar att marknadsandelen för halvledartillverkningsutrustning tillverkad i Japan var 31,3% 2019, vilket har svävat cirka 30% tidigare 20 år.

Inom litografiutrustning hade Nikon och Canon tidigare sopat världsmarknaden, men misslyckades i konkurrensen med ASML och föll bakom i EUV: s utveckling. När halvledarfältet blir svårt ökar tendensen till vinnare-allt-allt. Generationsförändringen som tar EUV som en möjlighet kommer också att påskynda överlevnaden för de fittest inom utrustningsföretag.

"Investeringen i avancerad utrustning på fastlandsmarknaden har upphört", suckade chefen för EUV-relaterade delar och komponenter. Eftersom den nederländska regeringen inte godkände den, har ASML inte kunnat exportera EUV-litografimaskiner till fastlandet. Dessutom avbryts köpet av kringutrustning och delar.

Det finns handelsfriktion mellan Kina och USA bakom sig. Om ASML-utrustning inte kan importeras kommer tillverkare av halvledare på fastlandet att hålla sig bakom i miniatyriseringstävlingen. Fastlandsregeringen lägger fram målet att halvledarens självförsörjningsgrad ska nå 40% år 2020 och 70% fram till 2025, men detta är svårt att uppnå. Många åsikter anser att USA utövade press på den nederländska regeringen att använda den som ett vapen på sanktioner.

Statistik från International Semiconductor Equipment and Materials Association visar att marknaden för halvledartillverkningsutrustning under 2019 var 59,7 miljarder dollar, en ökning med 59% jämfört med 2014. Under denna period har fastlandsmarknaden ökat sin närvaro och dess andel av världens den totala marknaden har ökat från 11,6% 2014 till 22,5%. För japanska företag för tillverkning av halvledarutrustning har fastlandet blivit en marknad som är svår att ignorera.

EUV-teknikutveckling är svår, och FoU-kostnaderna för alla företag expanderar. Om marknaden inte längre expanderar kommer företags investeringar att försenas och utvecklingen av ny teknik kan vara svår att utveckla.